
Toepassing van roestvrijstalen buizen in de halfgeleiderindustrie Roestvrije buizen, vooral naadloze roestvrijstalen buizen met een hoge zuiverheid (316L, 316L EP, BA), zijn een onmisbaar basismateriaal in halfgeleiderfabrieken (Fab), die de belangrijkste...
Toepassing van roestvrijstalen buizen in de halfgeleiderindustrie
Roestvrijstalen buizen, vooral naadloze roestvrijstalen buizen met een hoge zuiverheidsgraad (316L, 316L EP, BA), zijn een onmisbaar basismateriaal in halfgeleiderfabrieken (Fabs), die voornamelijk de taken uitvoeren van het transporteren van ultrazuivere gassen, chemicaliën en ultrazuiver water.
De productie van halfgeleiderchips is uiterst gevoelig voor vervuiling:
1. Deeltjesvervuiling
2. Metaalverontreiniging
3. Vochtvervuiling
4. Verontreiniging met organisch materiaal (TOC)
Zelfs onzuiverheden op nanometerniveau kunnen leiden tot het falen van de hele wafer.
Daarom moet het transportsysteem beschikken over:
1. Ultrahoge zuiverheid
2. Extreem lage emissie van onzuiverheden
3. Corrosiebestendigheid
4. Geen deeltjesvorming
5. Het vermogen om langdurig stabiel werk te verrichten
En elektrisch gepolijste (EP) 316L roestvrijstalen buizen zijn nu de reguliere oplossing.
Belangrijkste toepassingsscenario's:
1.Speciale gastoevoersystemen
2. Ultrapuurwatersystemen
3. Chemische toevoersystemen
4.Vacuümsystemen
Standaarden voor roestvrijstalen buizen die veel worden gebruikt in de halfgeleiderindustrie
| Naam | Standaard |
| Materiaal | 316L |
| Standaard | ASTM A269 |
| Ultrahoge zuiverheidsstandaard | HALF F20 |
| Oppervlaktebehandeling | BA, EP |
| Ruwheid | Ra ≤ 0,25 µm |
| Lassen methode | Orbitaal lassen |
| Netheid klasse | Klasse 100 / ISO 5 |